专注于半导体设备国产化，提供定制化的自动化解决方案
技术要求与难点
4温区独立控温
18路质量流量计控制
温度控制要求：升降温要稳定，在设定的时间内达到设定温度；温度波动需要<2度；恒温控制需要在<0.5度
压力控制要求：腔内压力控制精度要<1torr，需要带有自动保护功能。
流量计控制：具有实时数据巡检功能，流量计开启顺序可自定义设定功能。
